合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司高純電子氣體新材料項(xiàng)目 環(huán)境影響報告書和公眾參與說明報批前公示
發(fā)布時間:2023/08/17 環(huán)評公示 瀏覽次數(shù):2276
1、環(huán)境影響報告書信息公示說明
合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司高純電子氣體新材料項(xiàng)目位于合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)珠城西路與通寶路交口西北角。擬建設(shè)電子氣提純生產(chǎn)線、準(zhǔn)分子激光氣體混配生產(chǎn)線、電子氣分裝生產(chǎn)線、半導(dǎo)體級高純氣體純化器生產(chǎn)線和超潔凈鋼瓶處理線;項(xiàng)目實(shí)施后高純?nèi)穑˙F3)提純年產(chǎn)300噸;超純四氯化硅(SiCl4)提純年產(chǎn)300噸;年產(chǎn)準(zhǔn)分子激光氣28000瓶,(其中193波長激光氣0.95%F2+3.5%Ar+Ne\13.5%Ar+10ppmXe+Ne,各3000瓶;248波長激光氣0.95%F2+1.25%Kr+Ne\1.25%Kr+Ne,各5000瓶;308波長激光氣4.5%HCl+1%H2+Ne\0.5%HCl+Ne\100ppm-10%H2+Ne,各4000瓶);高純氧氣(O2)分裝年產(chǎn)1000噸;高純氫氣(H2)分裝年產(chǎn)40000瓶;高純八氟丙烷(C3F8)分裝年產(chǎn)300噸;高純一氧化二氮(N2O)分裝年產(chǎn)3000噸;超純二氧化碳(CO2)分裝年產(chǎn)10000噸;高純氮(N2)分裝年產(chǎn)3000噸;高純氬(Ar)分裝年產(chǎn)3000噸;高純氦(He)分裝年產(chǎn)20000瓶;液氦分裝年產(chǎn)50噸;半導(dǎo)體級高純氣體純化器年產(chǎn)1000套;超潔凈鋼瓶年處理量20000只。另進(jìn)行甲烷(CH4)、硅烷(SiH4)、氯氣(Cl2)高純電子氣體產(chǎn)品儲存經(jīng)營,年經(jīng)營量分別為50t/a、10t/a、50t/a。
根據(jù)《環(huán)境影響評價公眾參與辦法》,現(xiàn)將項(xiàng)目環(huán)評報告及公眾參與說明(見附件)進(jìn)行報批前公示。
2、建設(shè)單位及聯(lián)系方式
建設(shè)單位:合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司
聯(lián)系電話:13665699325
聯(lián)系人:劉總
聯(lián)系地址:合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)珠城西路與通寶路交口西北角
3、環(huán)評單位及聯(lián)系方式
評價機(jī)構(gòu):合肥市斯康環(huán)境科技咨詢有限公司
聯(lián)系方式:0551-65614551
聯(lián)系人:高工
聯(lián)系地址:合肥市廬陽區(qū)蒙城北路108號
鏈接:https://pan.baidu.com/s/1RSTbTrQ8HDlcRqAiQn5KkQ
提取碼:4qji
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